ASML rozważa wydanie specjalnej wersji swojego narzędzia do litografii w głębokim ultrafiolecie (DUV), które będzie zgodne z najnowszymi amerykańskimi przepisami eksportowymi i które może być wysyłane do chińskich klientów bez licencji, donosi DigiTimes. Urządzenie umożliwiłoby firmom takim jak SMIC i Hua Hong wytwarzanie chipów w węzłach klasy 28 nm i grubszych, ale nie pozwoli im na korzystanie z bardziej zaawansowanych węzłów.
Narzędzie litograficzne, o którym mowa, to Twinscan NXT:1980Di i obecnie jest to najmniej zaawansowany skaner immersyjny, jaki ASML nadal produkuje. Maszyna ma optykę o aperturze numerycznej 1,35 i jest w stanie uzyskać rozdzielczość <38 nm, co jest wystarczające dla węzłów klasy 7 nm, a nawet bardziej zaawansowanych. W rzeczywistości skaner ten – pierwotnie wydany w 2016 roku – był używany przez TSMC do opracowania technologii procesowej klasy 7 nm.
Ograniczenie tego urządzenia i zwiększenie jego minimalnej obsługiwanej rozdzielczości w celu uniemożliwienia SMIC i innym chińskim producentom chipów stworzenia technologii procesowej poniżej 28 nm jest teoretycznie możliwe. Biorąc pod uwagę, że lwia część przychodów SMIC pochodzi z węzłów produkcyjnych, które są grubsze niż 28 nm, prawdopodobne jest, że chińskie firmy nadal będą zainteresowane zakupem takich narzędzi.
Najnowsze przepisy eksportowe nakładają na amerykańskie firmy i osoby fizyczne obowiązek uzyskania licencji na eksport narzędzi i technologii zdolnych do produkcji układów logicznych z nieplanarnymi tranzystorami w węzłach 14nm/16nm i niższych, pamięci 3D NAND o 128 warstwach lub więcej oraz układów pamięci DRAM 18nm lub mniej. Te same zasady mają zastosowanie do nieamerykańskich firm, które eksportują komponenty z USA, co ma miejsce w przypadku ASML i Twinscan NXT:1980Di.
Najnowsze holenderskie przepisy eksportowe wymagają od ASML uzyskania licencji eksportowej na sprzedaż skanerów Twinscan NXT:2000i chińskim firmom. ASML oficjalnie nie stworzył ograniczonej wersji Twinscan NXT, ale jeśli przepisy eksportowe nadal będą ograniczać sprzedaż zaawansowanych technologii do Chin, taki ruch wydaje się prawdopodobny.
