Huawei i Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC) miały zgłosić patenty na technikę wytrawiania wzoru samonastawnego poczwórnego wzoru (SAQP), który ma umożliwić firmie SMIC produkcję półprzewodników w procesie technologicznym 5 nm.
Według rewelacji Bloomberg News dwóch chińskich gigantów użyło maszyny Deep Ultra Violet (DUV), by opracować techniki wytrawiania wzorów, które umożliwią firmie SMIC wytworzenie węzła zgodnego z amerykańskimi przepisami eksportowymi, przy jednoczesnym zachowaniu zwiększonej gęstości w porównaniu z wcześniej ogłoszonym węzłem 7 nm.
W procesie 7 nm najprawdopodobniej zastosowano samonastawne podwójne wzornictwo (SADP) z narzędziami DUV, ale w przypadku zwiększonej gęstości węzła 5 nm wymagane jest podwojenie SAQP.
W produkcji półprzewodników narzędzia litograficzne wykonują wiele tur, aby wytrawić projekt płytki krzemowej. Szczególnie w przypadku mniejszych węzłów, które mają coraz większe wymagania dotyczące gęstości, wytrawianie projektów o długości poniżej 10 nm przy użyciu narzędzi DUV staje się wyzwaniem. do takich zadań używa się narzędzi Extreme Ultra Violet (EUV) firmy ASML. W przypadku EUV długości fal drukarek litograficznych są 14 razy mniejsze niż w przypadku DUV i wynoszą zaledwie 13,5 nm w porównaniu do 193 nm systemów zanurzeniowych DUV ArF.
Znaczy to tyle, że bez EUV firma SMIC będzie musiała znaleźć alternatywy, takie jak SAQP, aby zwiększyć gęstość swoich węzłów, a w rezultacie uwzględnić więcej komplikacji i prawdopodobnie niższe zyski.
Chociaż Huawei i SMIC mogą opracować bardziej wydajne rozwiązanie dla SAQP, wykorzystanie EUV wydaje się nieodzowne, ponieważ zwykły DUV nie nadąża za rosnącą gęstością węzłów półprzewodnikowych. Biorąc pod uwagę fakt, że ASML nie może wysyłać swoich maszyn EUV do Chin, Huawei miałoby opracować własne maszyny EUV.
Rząd USA nadal prowadzi dochodzenie w sprawie domniemanego naruszenia sankcji przez SMIC
